Papers presented at the 25th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films San Diego, CA, USA, April 27 - May 1, 1998 [2] Papers from symposium C (Optical thin films), symposium D (Diamond and related materials), symposium F (Advances in coating and thin film characterization), and symposium H (Advanced materials in microelectronics)
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
1998
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Schriftenreihe: | Thin solid films
332,1/2 |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | XVII, 465 S Ill., graph. Darst |