Semiconductor wafer bonding : science and technology

Semiconductor wafer bonding science and technology

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Tong, Quin-Yi (VerfasserIn)
Körperschaft: Electrochemical Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Tong, Qin-Yi (VerfasserIn), Gösele, Ulrich (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, Weinheim u.a. Wiley 1999
Schriftenreihe:The Electrochemical Society series
Schlagworte:
Semiconductors > Bonding > Semiconductor wafers > Wafer > Bonden
Online Zugang:Cover
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographies and index
Beschreibung:XVIII, 297 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0471574813
0-471-57481-3