Sensoren mit kontaktloser optisch-iduktiver Ankopplung in Mikrosystemtechnik Verbundprojekt 1994-1997 ; Abschlußbericht
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Teltow
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH
1997
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Schriftenreihe: | Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik
57 |
Schlagworte: | |
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16 SV 053 - 16 SV 059 Die Vorlage enth. insgesamt 7 Werke |
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Beschreibung: | Getr. Zählung Ill., graph. Darst |