On the growth of semiconductor-based epitaxial and oxide films from low-energy ion beams

Cambridge, Masschusetts Inst. of Technology, Ph. D. Thesis, 1992

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Vancauwenberghe, Olivier P. J. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 1992
Schlagworte:
Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Cambridge, Masschusetts Inst. of Technology, Ph. D. Thesis, 1992