On the growth of semiconductor-based epitaxial and oxide films from low-energy ion beams

Cambridge, Masschusetts Inst. of Technology, Ph. D. Thesis, 1992

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vancauwenberghe, Olivier P. J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1992
Schlagworte:	Hochschulschrift
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