Lokalisierung und Identifizierung von Mikrodefekten mittels Transmissionselektronenmikroskopie Laufzeit: 1.8.1985-31.3.1989 ; Abschlußbericht ; Verbundprojekt: SUBMIKRON ; Querschnittsprojekt: Prozeßbegleitende Meßtechnik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Seibt, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Schröter, W. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Göttingen 4. Physikal. Inst., Univ. ca. 1989
Schlagworte:	Forschungsbericht
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