Integrierte Komponenten für optisches Abtastsystem auf Silizium-Basis Förderzeitraum: 01.10.1996-31.03.1997 ; innerhalb des BMBF-Leitprojekts Optische Speicher ; Abschlußbericht zum Teilprojekt

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	RWTH Aachen Lehrstuhl und Institut für Halbleitertechnik 2 (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hellmund, Oliver (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen ca. 1997
Schlagworte:	Forschungsbericht
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