Thema: Entwicklung alternativer Resist- und Ätztechnologien für die Herstellung ultrakleiner Metallstrukturen Abschlußbericht

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	RWTH Aachen Lehrstuhl und Institut für Halbleitertechnik 2 (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Altmeyer, S. (BerichterstatterIn), Kurz, H. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen 1998
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundeministerium für Bildung, Wisenschaft, Forschung und Technologie
Schlagworte:	Forschungsbericht
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