[Verbundprojekt: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf (Mst-Mw) Teilvorhaben: Praktischer Mikrosystementwurf ; Arbeitspaket 2.5 ; Laufzeit des Vorhabens: 01.04.93 - 31.12.96 ; Abschlußbericht]
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Jena
ca.1997
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