Influence of the substrate surface on large volume microwave plasma

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Bergische Universität Wuppertal Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Korzec, D. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Wuppertal 1996
Schlagworte:	Forschungsbericht
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