Proceedings of the International Symposium on Thin Film Materials, Processes, Reliability, and Applications: Thin Film Processes [as part of the joint international meeting of the Electrochemical Society and the International Society for Electrochemistry, in Paris, France, Aug 31 - Sep 5, 1997]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	International Symposium on Thin Film Materials, Processes, Reliability, and Applications: Thin Film Processes (VerfasserIn), International Society of Electrochemistry (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1998
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 97-30
Schlagworte:	Konferenzschrift > Dünnschichttechnik
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