In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputtern BMFT-Fördervorhaben 13 N 6162 ; Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.06.1993 - 31.08.1994

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Kirchhoff, V. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden FEP 1994
Schlagworte:	Forschungsbericht
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