Mask technology for integrated circuits and micro-components : lectures held at the GMM-conference, October 22 - 23, 1997 in Munich, Germany

Mask technology for integrated circuits and micro-components lectures held at the GMM-conference, October 22 - 23, 1997 in Munich, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Offenbach VDE-Verl. 1997
Schriftenreihe:GMM-Fachbericht 21
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Konferenzschrift > Maskentechnik
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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