Mask technology for integrated circuits and micro-components lectures held at the GMM-conference, October 22 - 23, 1997 in Munich, Germany

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Behringer, Uwe (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Offenbach VDE-Verl. 1997
Schriftenreihe:	GMM-Fachbericht 21
Schlagworte:	Integrated circuits > Masks > Konferenzschrift > Maskentechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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