Entwurf und Realisierung eines Informationssytems zur Prozeßdatenverwaltung und -verarbeitung im durchgängigen Halbleitertechnologieprozeß

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Gratz, Achim (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Schulz, Patrick (VerfasserIn), Spallek, Rainer G. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden TU, Fak. Informatik 1996
Schriftenreihe:	Technische Berichte / Technische Universität Dresden, Fakultät Informatik 97/05
Schlagworte:	Forschungsbericht
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