Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen elektrokalorischen Durchflußsensors
Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1997
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Berichte aus der Mikromechanik
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Zusammenfassung: | Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996 |
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Beschreibung: | Literaturverz. S. [175] - 184 |
Beschreibung: | 197 S Ill., graph. Darst 21 cm |
ISBN: | 3826525191 3-8265-2519-1 |