Plasma processing of semiconductors [proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Plasma Processing of Semiconductors, Château de Bonas, France, 17 - 28 June, 1996]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Advanced Research Workshop on Plasma Processing of Semiconductors (BerichterstatterIn), Advanced Study Institute on Plasma Processing of Semiconductors (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Williams, P. Frazer (BerichterstatterIn), Williams, P. F. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dordrecht u.a. Kluwer Acad. Publ. 1997
Schriftenreihe:	NATO ASI series Series E, Applied sciences 336
Schlagworte:	Konferenzschrift > Halbleiter > Plasmaätzen > Plasmaphysik
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