Materials for mechanical and optical microsystems : symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; [selection of papers presented during Symposium I, "Materials in Microsystems", at the 1996 MRS Fall Meeting]

Materials for mechanical and optical microsystems symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; [selection of papers presented during Symposium I, "Materials in Microsystems", at the 1996 MRS Fall Meeting]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Materials in Microsystems (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Reed, Michael L. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1997
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 444
Schlagworte:
Microelectronics > Materials > Electromechanical devices > Thin films > Congresses > Optical films > Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Werkstoffwahl
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