Verbundvorhaben Entwicklung des LIGA-Verfahrens zum technischen Dienstleistungsprozeß für die Mikrosystemtechnik : Weiterentwicklung von Verfahren und Ausrüstungen für die Röntgentiefenlithographie ; Schlußbericht ; [Teilprojekt: 3D-Röntgentiefenlithographie] ; [Berichtszeitraum: 1.1.1993-31.12.1995]

Verbundvorhaben Entwicklung des LIGA-Verfahrens zum technischen Dienstleistungsprozeß für die Mikrosystemtechnik Weiterentwicklung von Verfahren und Ausrüstungen für die Röntgentiefenlithographie ; Schlußbericht ; [Teilprojekt: 3D-Röntgentiefenlithographie] ; [Berichtszeitraum: 1.1.1993-31.12.1995]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Jenoptik GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Ehrfeld, W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Mainz IMM 1996
Schlagworte:
Forschungsbericht > LIGA-Verfahren
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT/BMBF 13 MV 0256. - Verbund-Nr.: 52400018/A
Beschreibung:104 Bl
Ill., graph. Darst