Fast modelling of the low-pressure capacitively coupled radio frequency discharge based on the nonlocal approach

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Arbeitsgemeinschaft Plasmaphysik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Berezohni, S. V. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bochum SFB 191 1996
Schriftenreihe:	Bericht / Sonderforschungsbereich 191 Physikalische Grundlagen der Niedertemperaturplasmen, Ruhr-Universität Bochum 49
Schlagworte:	Forschungsbericht
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