Modelling and simulation of IMEMS

Zürich, Eidgen. Techn. Hochsch., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Funk, Jörg (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1995
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schriftenreihe:	Dissertation. ETH Zürich No 11378
Schlagworte:	Hochschulschrift
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