Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer
Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
1995
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