Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer

Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhao, Xianbin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1995
Schlagworte:	Hochschulschrift > Rastersondenmikroskop > Kapazitiver Sensor
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995
Beschreibung:	Ersch. zugl. als : PTB-Bericht F-20, ISBN 3-89429-663-1
Beschreibung:	III, 181 S Ill., graph. Darst