Control of discharge conditions to reduce hydrogen content in low z films produced with DC glow

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Natsir, M. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Nagoya National Institute for Fusion Science 1995
Schriftenreihe:	Research report NIFS / National Institute for Fusion Science 373
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