Control of discharge conditions to reduce hydrogen content in low z films produced with DC glow

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Natsir, M. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Nagoya National Institute for Fusion Science 1995
Schriftenreihe:	Research report NIFS / National Institute for Fusion Science 373
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!