Thin SiO2-Si3N4-SiO2 films auger depth profile evaluation by means of factor analysis

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Gonzo, L. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Marchetti, F (VerfasserIn), Sarkar, M. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Trento Istituto per la Ricerca Scientifica e Tecnologica 1993
Schriftenreihe:	IRST technical report 9301-16
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!