Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung
Zugl.: Karlsruhe, Univ. (TH), Diss., 1995 von A. Both
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
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| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt
FZKA 5671 |
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