Dual-Frequency Piezoelectric MEMS Microphones Based on AlSc30%N Thin Films for Aeroacoustic Measurements

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	AIAA Aviation Forum (2023 : San Diego, Calif.; Online) Aeroacoustics ; Volume 6 of 6
1. Verfasser:	Wu, Lixiang (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Zhai, Yanfen (VerfasserIn), Lokesh, Onteru (VerfasserIn), Bourquard, Claire (VerfasserIn), Abbaszadeh, Javad (VerfasserIn), Andrianov, Nikolai (VerfasserIn), Souto, Jose A. Garcia (VerfasserIn), Nguyen, Thai Anh Tuan (VerfasserIn), Chen, Xuyuan (VerfasserIn), Erbacher, Kolja (VerfasserIn), Ngo, Ha-Duong (VerfasserIn), Sainges, Olivier (VerfasserIn), Julliard, Emmanuel (VerfasserIn)
Pages:	6
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2023
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