Silicon Compatible Emerging Materials, Processes, and Technologies for Advanced CMOS and Post-CMOS Applications 14

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Symposium "Silicon Compatible Emerging Materials, Processes, and Technologies for Advanced CMOS and Post-CMOS Applications" (VerfasserIn), Electrochemical Society (Herausgebendes Organ), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (SponsorIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (SponsorIn)
Weitere Verfasser:	Jagannathan, Hemanth (HerausgeberIn), Timans, Paul (HerausgeberIn), Roozeboom, F. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, New Jersey, USA the Electrochemical Society 2024 Red Hook, NY Curran Associates, Inc.
Schriftenreihe:	ECS transactions Electronic materials and processing vol. 113, no. 5
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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