Room Temperature Plasma-Etching and Surface Passivation of Far-Ultraviolet Al Mirrors Using Electron Beam Generated Plasmas

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Boris, D. R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Marcos, L. V. Rodriguez de (VerfasserIn), Gray, E. (VerfasserIn), Hoyo, J. G. Del (VerfasserIn), Wheeler, V. D. (VerfasserIn), Woodward, J. M. (VerfasserIn), Kozen, A. C. (VerfasserIn), Rosenberg, S. G. (VerfasserIn), Richardson, J. G. (VerfasserIn), Wollack, E. J. (VerfasserIn), Quijada, M. A. (VerfasserIn), Walton, S. G. (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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