Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of ZnO Ultra-Thin Films Monitored by In-Situ Spectroscopic Ellipsometry

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Kilic, Ufuk (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Schmidt, Daniel (VerfasserIn), Hilfiker, Mathew (VerfasserIn), Melendez, Giselle (VerfasserIn), Korlacki, Rafal (VerfasserIn), Schubert, Eva (VerfasserIn), Schubert, Mathias (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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