Atomic Layer Deposition: An Enabling Thin Film Nanotechnology for a Growing Number of Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Kessels, W. M. M. (Erwin) (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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