Dual Axes Scanning Micro Mirror Using Electromagnetic Actuators and Elastic Compliant Membrane
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | ASME Conference on Information Storage and Processing Systems (32. : 2023 : Milpitas, Calif.) Proceedings of the ASME 2023 32nd Conference on Information Storage and Processing Systems (ISPS2023) |
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| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , |
| Pages: | 2023 32 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
2023
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