Structure and thermal stabilitv of sputtered Ir films
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Chotai-Kankyosei-Senshin-Zairyo-Shinpojiumu (3 : 1992 : Tokio) Dai 3kai Chōtai Kankyōsei Senshin Zairyō Shinpojiumu |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Pages: | 3 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | jpn |
| Veröffentlicht: |
1992
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| Schlagworte: | |
| Tags: |
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