SUB 853: Investigation of Pd-Ge Alloy in ENEPIG Process as Better Barrier Layer

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	SMTA International Conference (2021 : Minneapolis, Minn.; Online) 2021 SMTA International Conference ; Volume 2 of 2
1. Verfasser:	Kaneko, Yohei (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Yamaguchi, Kazuki (VerfasserIn), Nishimura, Naoshi (VerfasserIn), II, Yoshihito (VerfasserIn), Maeda, Tsuyoshi (VerfasserIn), Tanabe, Katsuhisa (VerfasserIn), Hashimoto, Shigeo (VerfasserIn)
Pages:	2021
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:
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