SIGE SELECTIVE ETCH FOR THE FORMATION OF DIELECTRIC ISOLATIONS IN MONOLITHIC CFET

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface Preparation and Cleaning Conference (2022 : Chandler, Ariz.) 2022 Surface Preparation and Cleaning Conference
1. Verfasser:	Gowda, P. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Oniki, Y. (VerfasserIn), Lai, J. (VerfasserIn), Sanchez, E. (VerfasserIn)
Pages:	2022
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2023
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