Magnetron-Based Plasma Substrate Pre-Treatment and Etching

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (65. : 2022 : Long Beach, Calif.) 65th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Sgrilli, Tommaso (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	McCarthy, Patrick (VerfasserIn), Bellido-Gonzalez, Victor (VerfasserIn), Monaghan, Dermot (VerfasserIn), Santiago, José Antonio (VerfasserIn), Wennberg, Ambiörn (VerfasserIn), Fernández, Iván (VerfasserIn)
Pages:	65
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:
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