High Power Impulse Magnetron Sputtering for Depositing Silicon-Based Films in Large Area Coaters

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (65. : 2022 : Long Beach, Calif.) 65th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Oniszczuk, A. W. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gajewski, W. (VerfasserIn), Różański, P. (VerfasserIn), Heintze, M. (VerfasserIn), Bosscher, W. De (VerfasserIn)
Pages:	65
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
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