Untersuchung und Modellierung der Elektromigrationsschädigung in miniaturisierten Aluminiumleiterbahnen

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kraft, Oliver (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Max-Planck-Inst. f. Metallforschung u. Inst. f. Metallkunde d. Univ. 1995
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart 2
Schlagworte:	Hochschulschrift > Elektromigration > Leiterbahn > Aluminium
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