DETC2021-71131 Mode-Dependent Selective Detection of Humidity and Helium Using Electromagnetically Actuated Clamped Guided MEMS Resonators

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Micro- and Nanosystems (15. : 2021 : Online) Proceedings of the ASME 2021 International Design Engineering Technical Conferences and Computers and Information in Engineering Conference (IDETC-CIE2021) ; volume 11: 15th International Conference on Micro- and Nanosystems (MNS)
1. Verfasser:	Yaqoob, Usman (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Jaber, Nizar (VerfasserIn), Alcheikh, Nouha (VerfasserIn), Younis, Mohammad I. (VerfasserIn)
Pages:	2021
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!