Wachstumskern HIPS; Verbundprojekt VP3: Entwicklung multifunktioneller Gas-Sensoren höchster Zuverlässigkeit auf Basis der SiCer-Verbundsubstrat-Technologie; Teilprojekt TP5: High Performance Beschichtungstechnologien für SiCer Sensorelemente Projekt-Abschlussbericht : Projektlaufzeit: 01.09.2019 bis 31.08.2022 verlängert bis 31.12.2022 : Berichtszeitraum: 01.09.2019 bis 31.12.2022

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Koppert, Ralf (VerfasserIn)
Körperschaft:	Siegert TFT GmbH (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Hermsdorf Siegert TFT GmbH 27.06.2023
Schlagworte:	Forschungsbericht
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