Ion implantation technology 94 proceedings of the Tenth International Conference on Ion Implantation Technology, Catania, Italy, June 13 - 17, 1994

Pt. 1 (pp. 1-440) reprinted from: Nuclear instruments and methods in physics research, sect. B: beam interactions with materials and atoms, vol. B96, 1-2

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Conference on Ion Implantation Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Coffa, Salvatore (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 1995
Schlagworte:	Konferenzschrift > Ionenimplantation > Halbleiterbauelement > Halbleitertechnologie
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