Low-Temperature Growth of Piezoelectric AIN Film and its Optical and Acoustical Properties

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (2 : 1981 : Tokio) Proceedings of the 2nd Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	SHIOSAKI, Tadashi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	HARADA, Kazushige (VerfasserIn), KAWABATA, Akira (VerfasserIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1982
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