Mechanical properties of nanoporous organo silicate glass films for the use in integrated circuits interconnects [van Vorotilov, and Alexandr Sigov

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference "Physics of Dielectrics" (15. : 2020 : Sankt Petersburg) International Conference "Physics of Dielectrics"
1. Verfasser:	Ovchinnikov, Ivan (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Orlov, Georgiy (VerfasserIn), Seregin, Dmitriy (VerfasserIn), Vishnevskiv, Alexey (VerfasserIn), Vorotilov, Konstantin (VerfasserIn), Sigov, Alexandr (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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