Semiconductor wafer fabrication, coatings and tribology special topic volume with invited peer-reviewed papers only

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Marek, Juraj (HerausgeberIn), Pobegen, Gregor (HerausgeberIn), Grossner, Ulrike (HerausgeberIn), Shoukry, Hamada (HerausgeberIn), Fang, Zhigang Zak (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Baech Trans Tech Publications Ltd 2023
Schriftenreihe:Diffusion and defect data / B volume 342
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:viii, 148 Seiten
Illustrationen, Diagramme
ISBN:9783036403243
978-3-0364-0324-3