MSEC2021-63687 Precision Evaluation of NeXus, a Custom Multi-Robot System for Microsystem Integration

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ASME International Manufacturing Science and Engineering Conference (16. : 2021 : Online) Proceedings of the ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference (MSEC2021) ; Volume 2: Manufacturing processes - manufacturing systems - nano/micro/meso manufacturing - quality and reliability
1. Verfasser:	Wei, Danming (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tofangchi, Alireza (VerfasserIn), Sherehiy, Andriy (VerfasserIn), Saadatzi, Mohammad Hossein (VerfasserIn), Algatamin, Moath (VerfasserIn), Hsu, Keng (VerfasserIn), Popa, Dan O. (VerfasserIn)
Pages:	2021 16
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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