MEMS Sensors and Energy Harvesting: an IoT Game Changer through MEMS Integration and Advanced Materials

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Annual MEMS Technology Symposium Enabling the internet of things: foundations of MEMS process, design, packaging & test
1. Verfasser:	Rimskog, Magnus (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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