Research of the Microelectromechanical Device Cross-Shaped Element

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies (2021 : Sankt Petersburg) International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies
1. Verfasser:	Lysenko, Igor E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kidyaev, Nikolai F. (VerfasserIn), Ezhova, Olga A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:
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