Numerical Simulation of CVD Reactor for Oxide Semiconductor Layer Deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies (2021 : Sankt Petersburg) International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies
1. Verfasser:	Kleimanov, Roman (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Korshunov, Andrey (VerfasserIn), Kondrateva, Anastasia (VerfasserIn), Karaseov, Platon (VerfasserIn), Mishin, Maxim (VerfasserIn), Enns, Yakov (VerfasserIn), Komarevtsev, Ivan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
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