DETC2022-89962 Frequency-Amplitude Response of Parametric Resonance of Electrostaticaliy Actuated MEMS Cantilever Beams Driven by Fringe Effect
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| Veröffentlicht in: | ASME International Design Engineering Technical Conferences and Computers and Information in Engineering Conference (2022 : Saint Louis, Mo.) Proceedings of ASME 2022 International Design Engineering Technical Conferences and Computers and Information in Engineering Conference (IDETC-CIE 2022) ; Volume 10: 34th Conference on Mechanical Vibration and Sound (VIB) |
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| Pages: | 2022 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
2022
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